ASML最新型EUV極紫外光刻系統(tǒng)TWINSCAN NXE:3400C
稍微查一下材料，就可以看到國(guó)內(nèi)到底哪些廠商有能力供應(yīng)65nm以下光刻系統(tǒng)核心部件，是否已經(jīng)擁有商業(yè)級(jí)別自主設(shè)計(jì)和制造能力 。對(duì)，你猜得沒錯(cuò)，幾乎都沒有——實(shí)驗(yàn)室里面有、研發(fā)基地里面有，但那不等于可以進(jìn)行到商用級(jí)別，還只能停留在實(shí)驗(yàn)室里面做論證和分析 。而且加上瓦森納協(xié)議《關(guān)于常規(guī)武器和兩用物品及技術(shù)出口控制的瓦森納安排》等西方世界針對(duì)社會(huì)主義國(guó)家的禁運(yùn)玩法存在，就連跨國(guó)合作都被限定在非常清晰的框架內(nèi) ?，F(xiàn)實(shí)就是如此殘酷！
藍(lán)色為瓦森納協(xié)定國(guó)
一下子要跳到28nm，甚至14nm，不是上海微電子做不出來，而是這事情不能靠上海微電子一家去做 。這是一個(gè)需要整合社會(huì)資源、進(jìn)行多層次多路徑全賽道起跑的一整套工業(yè)技術(shù)開發(fā)項(xiàng)目集合 。那一條賽道慢一點(diǎn)，我們的下一個(gè)世代光刻機(jī)就要等等 。資金，我們有的；人才，我們也有的；參照物也有的；政策也有明確的導(dǎo)向；輿論也給足了勁 。剩下的就是給他們時(shí)間和空間，因?yàn)楦鲗ｍ?xiàng)有對(duì)應(yīng)的企業(yè)和機(jī)構(gòu)在攻堅(jiān)了 。小道消息，28浸沒式DUV有在研發(fā)（對(duì)，就是你們知道的02項(xiàng)），但從最新的線索來看，還是需要些時(shí)間才能用到晶圓廠大規(guī)模制造里 。如果有吹14nm出來的，到今天為止可以直接當(dāng)做某種對(duì)上海微電子乃至整個(gè)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)行業(yè)的捧殺 。
少一點(diǎn)毒奶，多一點(diǎn)務(wù)實(shí) 。把他們吹上天，未必是好事 。把他們貶得一文不值、冷嘲熱諷，也不過是遞刀子讓境外滲透勢(shì)力攻擊我們的科研體制 。讓社會(huì)大眾了解清楚現(xiàn)狀，我們自己的輿論也責(zé)無旁貸 。
上海微電子，前路漫漫，卻依然是國(guó)產(chǎn)高端光刻機(jī)的希望 。

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