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有頂級(jí)的鏡頭和光源，沒(méi)極致的機(jī)械精度，也沒(méi)有用 。光刻機(jī)里有兩個(gè)同步運(yùn)動(dòng)的工件臺(tái)，一個(gè)載底片，一個(gè)載膠片 。兩者需始終同步，誤差在2納米以下 。兩個(gè)工作臺(tái)由靜到動(dòng)，加速度跟導(dǎo)彈發(fā)射差不多 。而中國(guó)目前還缺少這樣的核心器件，還需要海外進(jìn)口 。
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中科院院士劉明表示雖然這些年我國(guó)在關(guān)于光刻機(jī)的很多領(lǐng)域取得進(jìn)展，但是總體來(lái)說(shuō)國(guó)內(nèi)的光刻機(jī)技術(shù)與國(guó)外技術(shù)依舊有15到20年 。
目前中國(guó)在蝕刻機(jī)領(lǐng)域已經(jīng)突破了5nm，追平與世界的差距，我們也希望有一天我們能夠在光刻機(jī)領(lǐng)域利用后發(fā)優(yōu)勢(shì)追求與世界的差距 。
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