作為芯片制造中光刻環(huán)節(jié)的核心設(shè)備，高端光刻機(jī)可謂全球高精尖技術(shù)的典型代表，但因?yàn)槊绹?guó)鉗制，中企有錢(qián)也買(mǎi)不到，中芯國(guó)際砸下77億元巨資，從荷蘭光刻機(jī)巨頭ASML手上購(gòu)買(mǎi)的DUV光刻機(jī)，遠(yuǎn)不如EUV光刻機(jī)先進(jìn)，卻仍被美國(guó)議員要求升級(jí)制裁 。
中國(guó)芯片制造遭遇“卡脖子”困境，影響深遠(yuǎn) 。
少有人知的是，幫助ASML擊敗日本成為光刻機(jī)霸主的，竟然是一個(gè)中國(guó)人，他就是臺(tái)積電的一位工程師林本堅(jiān) 。
不過(guò)，在林本堅(jiān)正式“登場(chǎng)”之前，是美國(guó)、日本主導(dǎo)著光刻機(jī)的全部話語(yǔ)權(quán) 。
上世紀(jì)六十年代初，美國(guó)仙童半導(dǎo)體發(fā)明了至今仍在使用的掩膜版曝光刻蝕技術(shù)，同時(shí)IBM選擇仙童半導(dǎo)體的光刻工藝和產(chǎn)線來(lái)制造計(jì)算機(jī)，生產(chǎn)出具有劃時(shí)代意義的大型電腦，進(jìn)而推動(dòng)美國(guó)、日本等廠商的光刻技術(shù)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展 。
1963年，日本電氣公司NEC從美國(guó)仙童半導(dǎo)體獲得相關(guān)技術(shù)授權(quán)，日本政府要求其將取得的技術(shù)和國(guó)內(nèi)其它廠商分享 。如此一來(lái)，日本三菱、京都電氣、尼康等公司爭(zhēng)先恐后進(jìn)入半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，拉開(kāi)了日本半導(dǎo)體行業(yè)狂飆突進(jìn)的序幕 。
到80年代，日本尼康公司已經(jīng)和推出真正有現(xiàn)代意義的步進(jìn)式光刻機(jī)GCA平起平坐，各自拿下三成市場(chǎng)占有率 。這個(gè)時(shí)候，ASML才剛剛成立 。
1986年，半導(dǎo)體市場(chǎng)遭遇大滑坡，美國(guó)光刻機(jī)企業(yè)深受沖擊，要么破產(chǎn)，要么被收購(gòu) 。
為了防止日企掌控全球市場(chǎng)，出于國(guó)家安全和商業(yè)利益考慮，美國(guó)開(kāi)始組建“復(fù)仇者聯(lián)盟”，扶持其他光刻機(jī)企業(yè)，其中，荷蘭ASML被視為“最優(yōu)選項(xiàng)” 。
有了美國(guó)的扶持，ASML快速崛起，但如何提升光刻機(jī)的工藝制程水平，是一項(xiàng)事關(guān)企業(yè)興衰的長(zhǎng)期考驗(yàn) 。
在很長(zhǎng)一段時(shí)間里，要提升光刻機(jī)工藝制程，主要靠改進(jìn)所使用的光源來(lái)降低光的波長(zhǎng)，比如00年代開(kāi)始使用193nm波長(zhǎng)的DUV激光，但怎么超越193nm，各大巨頭提出多種方案，也聚焦了不少“火力”，卻紛紛敗下陣來(lái) 。
光刻機(jī)霸主日本尼康一度打算選用未來(lái)技術(shù)，即0.004nm，然而，這個(gè)技術(shù)太超前，難度太大 。
關(guān)鍵時(shí)刻，林本堅(jiān)“登場(chǎng)” 。他在IBM負(fù)責(zé)不斷提高成像技術(shù)，干了22年，2000年正式加入已經(jīng)入股ASML的臺(tái)積電 。
和其他專家一心尋找新的光源替代193nm DUV激光不同，林本堅(jiān)在IBM時(shí)就提出浸潤(rùn)式光刻技術(shù)，因當(dāng)時(shí)干式光刻技術(shù)是主流，這個(gè)“瘋狂的點(diǎn)子”不但沒(méi)被采納，他還受到了同事的排擠 。
到了臺(tái)積電，林本堅(jiān)主攻浸潤(rùn)式研究，創(chuàng)造性地用水替代空氣，以縮短波長(zhǎng) 。
最關(guān)鍵的是，這個(gè)方案成功被ASML采納，一年時(shí)間內(nèi)，便開(kāi)發(fā)出樣機(jī) 。隨后，臺(tái)積電成為第一家實(shí)現(xiàn)浸潤(rùn)式產(chǎn)品量產(chǎn)的公司，一舉成為芯片制造領(lǐng)域的“王者” 。
緊接著，日本尼康推出的157nm產(chǎn)品樣機(jī)完成，卻沒(méi)有廠商愿意采用，導(dǎo)致一大批使用尼康產(chǎn)品的日本半導(dǎo)體廠商迅速潰敗 。
依托于關(guān)鍵技術(shù)的重大突破，ASML市場(chǎng)份額飆升，被媒體形容為“把尼康和佳能打得滿地找牙”，此后又研發(fā)出EUV光刻機(jī)技術(shù)，地位進(jìn)一步夯實(shí) 。
如今，ASML笑傲全球，一家獨(dú)大，幾乎所有芯片制造公司都是它的客戶 。
2020年，ASML營(yíng)收近1100億元人民幣，凈利潤(rùn)達(dá)280億元 。其中，包括臺(tái)灣在內(nèi)的中國(guó)市場(chǎng)貢獻(xiàn)593億元，但EUV光刻機(jī)一臺(tái)都沒(méi)有賣(mài)給中國(guó)大陸 。

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