掃描電鏡的工作原理是怎樣的？掃面電鏡（SEM）的工作原理通俗點(diǎn)講，就是高能電子束轟擊樣品，產(chǎn)生各種信號（二次電子，背散射電子），這些信號被探測器收集并成像 。下面我們就用圖片加文字的方式把成像原理詳細(xì)介紹下：1 掃描電鏡的構(gòu)造掃描電鏡主要由五大系統(tǒng)組成，即電子光學(xué)系統(tǒng)，掃描系統(tǒng)，信號收集系統(tǒng)，成像和記錄系統(tǒng)，真空和電源系統(tǒng) 。電子光學(xué)系統(tǒng)：由電子槍，聚光鏡，物鏡和樣品室組成，將來自電子槍的電子束聚焦成直徑小亮度高的入射電子束 。掃描系統(tǒng)：主要是指掃描線圈，使入射電子束在樣品表面掃描和調(diào)節(jié)放大倍數(shù) 。信號收集系統(tǒng)：電子收集器將各種物理信號收集起來，通過光電倍增管等組件使得光信號轉(zhuǎn)換為電信號 。圖像顯示和記錄系統(tǒng)：將電信號成比例的轉(zhuǎn)換為陰極射線管（LED）電子束強(qiáng)度的變化，這樣在顯示器上得到一副黑白掃描像，可用CCD照相記錄下來 。真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)：電子束需要真空環(huán)境，因為空氣中的各種粒子會散射大量的入射電子，導(dǎo)致成像質(zhì)量下降 。2 掃描電鏡的工作過程電子槍加高電壓，電子被牽引逸出形成電子束，電子束在電磁透鏡（聚光器）的聚焦作用下形成更細(xì)的聚焦電子束 。電子束以光柵的模式掃描樣品表面 。此時產(chǎn)生各種物理信號：二次電子，背散射電子，透射電子，吸收電子，俄歇電子和特征X射線 。信號被收集處理，最終成像 。3 掃描電鏡產(chǎn)生的信號電子與樣品相互作用產(chǎn)生各種電子信號，其中最重要的三個信號是二次電子SE，背散射電子BSE，特征X射線 。背散射電子是被樣品中原子反射回來的入射電子 。它來自于樣品較深層區(qū)域，對原子序數(shù)特別敏感，原子序數(shù)越大，圖像就越亮 。二次電子是被入射電子轟擊出來的樣品核外電子 。它來自于樣品表面區(qū)域，可用于表面形貌觀察，圖像立體感很強(qiáng) 。特征X射線是原子內(nèi)層電子受到激發(fā)后，在能級躍遷過程中直接釋放的具有特征能量和波長的電磁輻射 。用于樣品成分定性和定量分析 。歡迎小伙伴評論提問，我們一同進(jìn)步，被忘了加關(guān)注哦！
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