流量單位中SCCM是什么
【流量單位中SCCM是什么】SCCM是質(zhì)流單位,表示標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘,與一般常用的流量單位是不同的,常見的流量單位例如:1毫升每秒 , 代表單位時(shí)間流過的體積 , 而質(zhì)流是表示單位時(shí)間通過的氣體莫耳數(shù),這種單位通常用于化學(xué)反應(yīng)中,如CVD等需要精確控制原子成分比之場合 。
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