截止目前，東方晶源成功自主研發(fā)了計算光刻軟件（OPC）、納米級電子束檢測裝備（EBI）和關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）三款核心產品，填補了多項國內市場空白，已經成為解決我國集成電路領域“卡脖子”問題的重要力量，對全產業(yè)鏈自主可控具有重要的戰(zhàn)略價值和意義 。
根據東方晶源公眾號消息顯示，2021年上半年，東方晶源的CD-SEM成功出機國內晶圓代工龍頭企業(yè)，市場地位進一步夯實；02國家重大專項、工業(yè)強基等項目順利推進；成功被評定為第三批國家級專精特新“小巨人”企業(yè) 。此外，在客戶的支持下，東方晶源一舉拿下多個重要訂單，東方晶源三款核心產品均已在客戶產線驗證并實現訂單，三款產品也因此填補國內空白 。
2021年9月，東方晶源還宣布已完成新一輪數億元股權融資 。該輪融資由賽領資本、深創(chuàng)投領投，眾多知名投資機構聯合投資 。東方晶源稱，此輪融資將有助于其加快在集成電路前道電子束檢測、計算光刻系統(tǒng)等核心產品的研發(fā)進程，加速在集成電路良率管理領域的整體布局 。
根據官網資料顯示，目前東方晶源申報國內外發(fā)明專利146項，授權發(fā)明專利49項，軟件著作權14項，注冊商標15項 。
目前，對于ASML此番在2021年度報告當中的指控，東方晶源方面并未回應 。
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